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三次元表面構造解析顕微鏡装置

keirin
三次元表面構造解析顕微鏡装置
担当部所生産技術部 機械システムグループ
メーカ名Zygo社
メーカ商品名/型式三次元光学プロファイラーシステム/NewView6300
性能・仕様測定方式:走査型白色干渉法 垂直分解能:0.1nm 垂直測定範囲:1nm~15000μm 光源:白色LED 観察視野:0.04×0.03mm~150×150mm(スティッチング機能使用時)
用途対象となる材料や加工表面をある範囲で一度に計測できるだけでなく、3次グラフィック表示の計測結果から任意の断面を抽出し、表面粗さのパラメータや、微細な溝の幅や深さを測定することが可能
対象試料精密微細加工面、加工面、メッキ面、電子部品
設置年月2006年01月
利用料金1時間につき 1,900円
機器利用研修費初回に機器利用研修費5,000円が必要
注意事項