ホーム
組織紹介
保有技術
機器利用
共同研究
技術相談
 
 
 
 
 
 
 

集束イオンビーム加工装置

集束イオンビーム加工装置
集束イオンビーム加工装置
担当部所材料・分析技術部 無機材料グループ
メーカ名日本エフイ-・アイ 株式会社
メーカ商品名/型式集束イオンビーム加工装置 / Versa 3D Dual Beam
性能・仕様電子線分解能: 1.2nm, 入射電圧: 50V-30kV, 最大プロ-ブ電流: 200nA, イオンビ-ム分解能: 7.0nm, 入射電圧: 500V-30kV, プロ-ブ電流: 1.5pA-65nA, 分析可能元素: B ~U, その他の装備:BSE検出器, STEM検出器, OmniProbe
用途金属材料、セラミックス材料、高分子材料など固体材料の断面加工、薄片化加工、および、その元素分析(定性、定量、線分析および面分析)他。
対象試料金属材料、セラミックス材料、半導体材料、高分子材料など。(真空中で安定で、電子線により分解しないもの。)
設置年月2012年10月
利用料金1時間につき9,800円
機器利用研修費初回に機器利用研修費5,000円が必要