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反射分光膜厚計

 
反射分光膜厚計
担当部所材料・分析技術部 化学材料グループ
メーカ名大塚電子(株)
メーカ商品名/型式反射分光膜厚計/FE-3000
性能・仕様試料サイズ(最大):W200mm×D200mm×H7mm、測定可能な層数:5層、測定可能な光学膜厚:1nm~40μm、測定波長範囲:230nm~800nm、測定スポットサイズ:φ10μm、自動制御ステージによりマッピング測定が可能
用途各種基板上に形成した薄膜の膜厚および屈折率の測定
対象試料各種基板上に形成した薄膜
設置年月2012年10月
利用料金1時間につき1,400円
機器利用研修費初回に機器利用研修費4,000円が必要