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複合ビーム成膜装置

 
複合ビーム成膜装置
担当部所材料・分析技術部 無機材料グループ
メーカ名誠南工業(株)
メーカ商品名/型式複合ビーム成膜装置
性能・仕様<レーザー>Nd:YAG-FHG(波長266nm)、繰返周波数 10Hz <成膜チャンバ>ターゲット 最大φ20mm×5mmt、基板 最大25×25×1mm、室温~600℃、RHEED
用途セラミックス材料および金属材料の薄膜を形成させる。
対象試料セラミックス材料、金属材料
設置年月1999年4月
利用料金1時間につき3,700円
機器利用研修費初回に機器利用研修費4,000円が必要