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MEMS製作用スパッタリング装置

 
MEMS製作用スパッタリング装置
担当部所生産技術部 電子・情報グループ
メーカ名神港精機(株)
メーカ商品名/型式SDV4320
性能・仕様ターゲット φ100mm×3ヶ、処理基板 φ200mm、真空性能 到達圧力 1×10-4Pa以下、カソード電源 DC、基板機構 、逆スパッタ機構、基板加熱機構 300℃
用途基板上にターゲット材料を成膜する
対象試料ターゲット:Au, Ti, Cr, Al等、基板:Si, glass等
設置年月2012年12月
利用料金1時間につき3,100円
機器利用研修費初回に機器利用研修費4,000円が必要