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MEMS製作用スプレーコーター

 
MEMS製作用スプレーコーター
担当部所生産技術部 電子・情報グループ
メーカ名(株)三明
メーカ商品名/型式DC110
性能・仕様塗布膜圧1μm~500μm、ノズル移動;試料台 300×300mm、ヒーター内蔵試料台を標準装備(100℃)
用途基板上にフォトレジストをスプレイにより塗布する
対象試料フォトレジスト:SU-8, OFPR等、基板:Si, Glass等
設置年月2012年12月
利用料金1時間につき1,600円
機器利用研修費初回に機器利用研修費3,000円が必要