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MEMS製作用ダイシングソー

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MEMS製作用ダイシングソー
担当部所生産技術部 電子・情報グループ
メーカ名(株)ディスコ
メーカ商品名/型式DAD322
性能・仕様X軸切削可能範囲 160mm、Y軸切削可能範囲 162mm、スピンドル回転数範囲 3,000~40,000min-1
用途基板を切断してチップ化する
対象試料基板:Si等
設置年月2012年12月
利用料金1時間につき2,100円
機器利用研修費初回に機器利用研修費3,000円が必要