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MEMS製作用プロジェクション描画装置

 
MEMS製作用プロジェクション描画装置
担当部所生産技術部 電子・情報グループ
メーカ名(株)ピーエムティー
メーカ商品名/型式PLS-1212
性能・仕様光源 LED 描画365nm(i線)、 最小線幅 1.0μm以下、描画エリア 300×300mm
用途基板上のフォトレジストに光を照射し、任意のパターンを描く
対象試料基板:Si, Glass等、フォトレジスト:OFPR等
設置年月2012年12月
利用料金1時間につき5,900円
機器利用研修費初回に機器利用研修費5,000円が必要