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MEMS製作用両面マスクアライナー

 
MEMS製作用両面マスクアライナー
担当部所生産技術部 電子・情報グループ
メーカ名ズースマイクロテック(株)
メーカ商品名/型式MA6
性能・仕様露光エリア 最大6インチΦ、露光波長 ブロードバンド露光(350-450nm)i線露光(365nm)、アライメント精度 表面側:±1.0μm、裏面側:±1.5μm
用途ガラスマスクに描かれたパターンを平行光を照射することにより、基板上のフォトレジストに転写する
対象試料基板:Si等、フォトレジスト:OFPR等
設置年月2012年12月
利用料金1時間につき4,400円
機器利用研修費初回に機器利用研修費5,000円が必要