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レーザ干渉変位計

レーザ干渉変位計
担当部所生産技術部 電子・情報グループ
メーカ名横河・ヒューレット・パッカード(株)
メーカ商品名/型式超精密レーザー測定システム/5528A
性能・仕様変位分解能0.01μm 測定範囲最大40m 角度測定機能付 角度分解能0.1秒 温度補正機能 気圧補正機能付
用途テーブル等の対象物に光学系を取り付けることにより、対象物の変位量を測定する。あるいは、距離・変位センサの測定精度を評価する。
対象試料-
設置年月1989年12月
利用料金研究業務のみに使用しています
機器利用研修費-
注意事項