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エリプソメータ

エリプソメータ
担当部所材料・分析技術部 無機材料グループ
メーカ名溝尻光学工業
メーカ商品名/型式高速自動エリプソメータ/DVA-36L3
性能・仕様膜厚測定範囲数オングストロームから数μm 試料の大きさは最大直径3インチ 膜厚および屈折率分布の自動測定とマッピング表示可能
用途各種基板上に形成した薄膜の膜厚および屈折率の分布の測定。
対象試料各種基板上に形成した薄膜 (スパッタリング膜、CVD膜、ゾル-ゲル膜、LB膜)
設置年月1993年02月
利用料金1時間につき 1,200円
機器利用研修費初回に機器利用研修費3,000円が必要
注意事項
基板が平滑なこと。膜が透明であること。膜厚および屈折率の予想値が必要。