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電界放出型分析走査電子顕微鏡

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電界放出型分析走査電子顕微鏡
電界放出型分析走査電子顕微鏡
担当部所材料・分析技術部
メーカ名日本電子
メーカ商品名/型式JSM-7610F
性能・仕様セミインレンズ・サーマルショットキー電界放出型電子銃、2次電子分解能: 1.0nm(15kV), 1.3nm(1kV/GB)、加速電圧: 0.1kV-30kV、最大電流: 200nA(15kV)、検出器:上方検出器・下方検出器、ジェントルビーム (GB)、エネルギーフィルター (r-filter)、低角度反射電子検出器 (LABE)、電動ステージ(70×50mm)、試料最大高さ:30mm、X線検出器:シリコンドリフト検出器 (ΔE<129eV)、分析可能元素: B ~U
用途破断面の形状観察や、微小な異物の観察・成分分析、変色域の元素分析、材料の成分分析などが可能です。 また、線分析・面分析により、含まれる元素の分布を知ることが可能です。
対象試料非磁性金属,半導体,セラミックス,プラスチック等(非導電性の試料の場合、蒸着等の導電性処理が必要になることがあります。)
設置年月2015年3月6日
利用料金1時間につき 3,400円
機器利用研修費 初回に機器利用研修費 5,000円が必要