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接触式段差計

 
接触式段差計
担当部所生産技術部 電子・情報グループ
メーカ名Bruker Nano社
メーカ商品名/型式触針式表面形状測定器/Dektak XT-A
性能・仕様接触式プロファイル測定方式、触圧制御範囲0.03~15mg、最大ス キャン長55mm、段差測定再現性 0.5nm、高さ測定範囲 Max. 1mm
用途試料に形成された薄膜の2及び3次元表面プロファイルの測定
対象試料シリコンウェハー等の平滑面上の金属膜、有機膜
設置年月2015年10月
利用料金1時間につき1,300円
機器利用研修費初回に受講料3,000円が必要