エリプソメータ

メーカー名	溝尻光学工業
メーカー商品名/型式	高速自動エリプソメータ／DVA-36L3
性能・仕様	膜厚測定範囲数オングストロームから数μｍ試料の大きさは最大直径3インチ膜厚および屈折率分布の自動測定とマッピング表示可能
用途	各種基板上に形成した薄膜の膜厚および屈折率の分布の測定。
対象試料	各種基板上に形成した薄膜（スパッタリング膜、CVD膜、ゾル－ゲル膜、LB膜）
利用料金	1,200円／時間
機器利用研修費	受講料3,000円
設置場所	神戸
注意事項	基板が平滑なこと。膜が透明であること。膜厚および屈折率の予想値が必要。
設置年月	1993年2月
担当部署	材料・分析技術部無機材料グループ
業務コード	3112000

屈折率、基板、薄膜、膜厚、単色レーザー