機器利用
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エリプソメータ

メーカー名 | 溝尻光学工業 |
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メーカー 商品名/型式 |
高速自動エリプソメータ/DVA-36L3 |
性能・仕様 | 膜厚測定範囲数オングストロームから数μm 試料の大きさは最大直径3インチ 膜厚および屈折率分布の自動測定とマッピング表示可能 |
用途 | 各種基板上に形成した薄膜の膜厚および屈折率の分布の測定。 |
対象試料 | 各種基板上に形成した薄膜 (スパッタリング膜、CVD膜、ゾル-ゲル膜、LB膜) |
利用料金 | 1,200円/時間 |
機器利用 研修費 |
受講料3,000円 |
設置場所 | 神戸 |
注意事項 | 基板が平滑なこと。膜が透明であること。膜厚および屈折率の予想値が必要。 |
設置年月 | 1993年2月 |
担当部署 | 材料・分析技術部 無機材料グループ |
業務コード | 3112000 |
屈折率、基板、薄膜、膜厚、単色レーザー