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エリプソメータ

メーカー名 溝尻光学工業
メーカー
商品名/型式
高速自動エリプソメータ/DVA-36L3
性能・仕様 膜厚測定範囲数オングストロームから数μm 試料の大きさは最大直径3インチ 膜厚および屈折率分布の自動測定とマッピング表示可能
用途 各種基板上に形成した薄膜の膜厚および屈折率の分布の測定。
対象試料 各種基板上に形成した薄膜 (スパッタリング膜、CVD膜、ゾル-ゲル膜、LB膜)
利用料金 1,200円/時間
機器利用
研修費
受講料3,000円
設置場所 神戸
注意事項 基板が平滑なこと。膜が透明であること。膜厚および屈折率の予想値が必要。
設置年月 1993年2月
担当部署 材料・分析技術部 無機材料グループ
業務コード 3112000

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屈折率、基板、薄膜、膜厚、単色レーザー