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MEMS製作用スパッタリング装置

MEMS製作用スパッタリング装置
メーカー名 神港精機(株)
メーカー
商品名/型式
SDV4320
性能・仕様 ターゲット φ100mm×3ヶ、処理基板 φ200mm、真空性能 到達圧力 1×10-4Pa以下、カソード電源DC、基板機構 、逆スパッタ機構、基板加熱機構 300℃
用途 基板上にターゲット材料を成膜する
対象試料 ターゲット:Au, Ti, Cr, Al等、基板:Si, glass等
利用料金 3,200円/時間
機器利用
研修費
受講料4,000円
設置場所 神戸
注意事項
設置年月 2012年12月
担当部署 生産技術部 電子・情報グループ
業務コード 3012100

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