機器利用
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MEMS製作用スプレーコーター
メーカー名 | ㈱三明 |
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メーカー 商品名/型式 |
DC110 |
性能・仕様 | 塗布膜圧1μm~500μm、ノズル移動;試料台 300×300mm、ヒーター内蔵試料台を標準装備(100℃) |
用途 | 基板上にフォトレジストをスプレイにより塗布する |
対象試料 | フォトレジスト:SU-8, OFPR等、基板:Si, Glass等 |
利用料金 | 1,600円/時間 当面外部利用を停止します。 |
機器利用 研修費 |
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設置場所 | 神戸 |
注意事項 | |
設置年月 | 2012年12月 |
担当部署 | 生産技術部 電子・情報グループ |
業務コード | 3012110 |