MEMS製作用スプレーコーター

メーカー名	(株)三明
メーカー商品名/型式	DC110
性能・仕様	塗布膜圧１μｍ～500μｍ、ノズル移動；試料台 300×300mm、ヒーター内蔵試料台を標準装備（100℃）
用途	基板上にフォトレジストをスプレイにより塗布する
対象試料	フォトレジスト：SU-8, OFPR等、基板：Si, Glass等
利用料金	1,600円／時間当面外部利用を停止します。
機器利用研修費
設置場所	神戸
注意事項
設置年月	2012年12月
担当部署	生産技術部電子・情報グループ
業務コード	3012110