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MEMS製作用ダイシングソー

メーカー名 ㈱ディスコ
メーカー
商品名/型式
DAD322
性能・仕様 X軸切削可能範囲 160mm、Y軸切削可能範囲 162mm、スピンドル回転数範囲 3,000~40,000min-1
用途 基板を切断してチップ化する
対象試料 基板:Si等
利用料金 2,100円/時間
機器利用
研修費
受講料3,000円
設置場所 神戸
注意事項
設置年月 2012年12月
担当部署 生産技術部 電子・情報グループ
業務コード 3012120

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