MEMS製作用ダイシングソー

メーカー名	(株)ディスコ
メーカー商品名/型式	DAD322
性能・仕様	X軸切削可能範囲 160mm、Y軸切削可能範囲 162mm、スピンドル回転数範囲 3,000～40,000min-1
用途	基板を切断してチップ化する
対象試料	基板：Si等
利用料金	2,100円／時間
機器利用研修費	受講料3,000円
設置場所	神戸
注意事項	機器の対象試料等について、担当者との事前打ち合わせが必要
設置年月	2012年12月
担当部署	技術企画部
業務コード	3012120