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MEMS製作用プロジェクション描画装置

メーカー名 ㈱三明
メーカー
商品名/型式
DC110
性能・仕様 塗布膜圧1μm~500μm、ノズル移動;試料台 300×300mm、ヒーター内蔵試料台を標準装備(100℃)
用途 基板上にフォトレジストをスプレイにより塗布する
対象試料 フォトレジスト:SU-8, OFPR等、基板:Si, Glass等
利用料金 6,000円/時間
当面外部利用を停止します。
機器利用
研修費
受講料5,000円
設置場所 神戸
注意事項
設置年月 2012年12月
担当部署 生産技術部 電子・情報グループ
業務コード 3012130

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