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MEMS製作用両面マスクアライナー

メーカー名 ズースマイクロテック㈱
メーカー
商品名/型式
MA6
性能・仕様 露光エリア 最大6インチΦ、露光波長 ブロードバンド露光(350-450nm)i線露光(365nm)、アライメント精度 表面側:±1.0μm、裏面側:±1.5μm
用途 ガラスマスクに描かれたパターンを平行光を照射することにより、基板上のフォトレジストに転写する
対象試料 基板:Si等、フォトレジスト:OFPR等
利用料金 4,500円/時間
機器利用
研修費
受講料5,000円
設置場所 神戸
注意事項
設置年月 2012年12月
担当部署 生産技術部 電子・情報グループ
業務コード 3012140

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