MEMS製作用両面マスクアライナー

メーカー名	ズースマイクロテック(株)
メーカー商品名/型式	MA6
性能・仕様	露光エリア最大6インチΦ、露光波長ブロードバンド露光（350-450nm）i線露光（365nm）、アライメント精度表面側：±1.0μｍ、裏面側：±1.5μｍ
用途	ガラスマスクに描かれたパターンを平行光を照射することにより、基板上のフォトレジストに転写する
対象試料	基板：Si等、フォトレジスト：OFPR等
利用料金	4,500円／時間
機器利用研修費	受講料5,000円
設置場所	神戸
注意事項	機器の対象試料等について、担当者との事前打ち合わせが必要
設置年月	2012年12月
担当部署	技術企画部
業務コード	3012140