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複合ビーム成膜装置

メーカー名 誠南工業㈱
メーカー
商品名/型式
複合ビーム成膜装置
性能・仕様 <レーザー>Nd:YAG-FHG(波長266nm)、繰返周波数 10Hz <成膜チャンバ>ターゲット 最大φ20mm×5mmt、基板 最大25×25×1mm、室温~600℃、RHEED
用途 セラミックス材料および金属材料の薄膜を形成させる。
対象試料 セラミックス材料、金属材料
利用料金 3,800円/時間
機器利用
研修費
受講料4,000円
設置場所 神戸
注意事項
設置年月 1999年4月
担当部署 材料・分析技術部 無機材料グループ
業務コード 3060960

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