複合ビーム成膜装置

メーカー名	誠南工業(株)
メーカー商品名/型式	複合ビーム成膜装置
性能・仕様	＜レーザー＞Nd:YAG-FHG（波長266nm）、繰返周波数 10Hz　＜成膜チャンバ＞ターゲット最大φ20mm×5mmt、基板最大25×25×1mm、室温～600℃、RHEED
用途	セラミックス材料および金属材料の薄膜を形成させる。
対象試料	セラミックス材料、金属材料
利用料金	3,800円／時間
機器利用研修費	受講料4,000円
設置場所	神戸
注意事項
設置年月	1999年4月
担当部署	材料・分析技術部無機材料グループ
業務コード	3060960

レーザーアブレーション、PLD、パルスレーザー堆積、エキシマレーザー、ネオジムヤグレーザー、YAG、薄膜、成膜、アシスト照射、ラジカル照射、RHEED、反射高速電子線回折、酸化物