接触式段差計

メーカー名	Bruker Nano社
メーカー商品名/型式	触針式表面形状測定器／Dektak XT-A
性能・仕様	接触式プロファイル測定方式、触圧制御範囲0.03～15mg、最大スキャン長55mm、段差測定再現性 0.5nm、高さ測定範囲　Max. 1mm
用途	試料に形成された薄膜の2及び3次元表面プロファイルの測定
対象試料	シリコンウェハー等の平滑面上の金属膜、有機膜
利用料金	1,300円／時間
機器利用研修費	受講料3,000円
設置場所	神戸
注意事項	機器の対象試料等について、担当者との事前打ち合わせが必要
設置年月	2015年10月
担当部署	技術企画部
業務コード	3106750