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接触式段差計

メーカー名 Bruker Nano社
メーカー
商品名/型式
触針式表面形状測定器/Dektak XT-A
性能・仕様 接触式プロファイル測定方式、触圧制御範囲0.03~15mg、最大ス キャン長55mm、段差測定再現性 0.5nm、高さ測定範囲 Max. 1mm
用途 試料に形成された薄膜の2及び3次元表面プロファイルの測定
対象試料 シリコンウェハー等の平滑面上の金属膜、有機膜
利用料金 1,300円/時間
機器利用
研修費
受講料3,000円
設置場所 神戸
注意事項
設置年月 2015年10月
担当部署 生産技術部 電子・情報グループ
業務コード 3106750

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