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反射分光膜厚計

メーカー名 大塚電子㈱
メーカー
商品名/型式
反射分光膜厚計/FE-3000
性能・仕様 試料サイズ(最大):W200mm×D200mm×H7mm、測定可能な層数:5層、測定可能な光学膜厚:1nm~40μm、測定波長範囲:230nm~800nm、測定スポットサイズ:φ10μm、自動制御ステージによりマッピング測定が可能
用途 各種基板上に形成した薄膜の膜厚および屈折率の測定
対象試料 各種基板上に形成した薄膜
利用料金 1,400円/時間
機器利用
研修費
受講料4,000円
設置場所 神戸
注意事項
設置年月 2012年10月
担当部署 材料・分析技術部 化学材料グループ
業務コード 3112010

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膜厚、屈折率、薄膜、絶対反射率