光温度計測を可能とするカーボンナノチューブの発光性特性

半導体の熱損失解析のため、カーボンナノチューブの発光熱特性を利用した光温度計測技術の可能性を検討しました 。デジタル社会の拡大に伴い、半導体の消費電力削減、すなわち熱損失の抑制はCO2排出抑制に不可欠です 。
従来のサーモグラフィカメラでは、集積化した半導体内部の微細領域における熱分布測定が困難であったため、より高い空間分解能を持つ発光材料を用いた光温度計が期待されています 。
本研究では、単層カーボンナノチューブの極薄膜シートを作製し、加熱しながらアップコンバージョン発光スペクトルを測定しました 。その結果、発光強度が温度増加に伴って増加する特性を確認し、この発光を利用して温度推定が可能であることを示唆しました 。（AIによる要約）

光温度計