ロボット用超小型６軸モーションセンサ

背景、目的

　ロボットの動きを検出するためには、角速度センサや加速度センサに代表される、いわゆるモーションセンサが必要であり、あらゆる方向の動作を検知するためには、加速度3軸、角速度3軸の計6軸のモーションセンシングが不可欠です。また、ロボットだけでなく車の姿勢制御など、超小型6軸モーションセンサの必要性はますます高まってきています。本研究では、超小型6軸モーションセンサの開発と、その適用先として有力視されているプラントの監視／検査に適用可能なカード型センサモジュールの開発を行いました。

成果、製品化状況

　シリコンを用いた3軸加速度センサ部と、水晶などの圧電単結晶材料を用いた3軸ジャイロセンサ部を新たに開発し、ハイブリッド化する構造で、超小型6軸モーションセンサを開発しました。その結果、パッケージサイズ5.0×3.0×1.5mm、測定精度±1％を達成しました。また、開発した6軸モーションセンサを搭載し、さらにA/D変換機能、データ演算機能、メモリ、無線通信機能等を搭載した小型のカード型センサモジュールを開発しました。
　このセンサモジュールはロボットやプラント監視だけでなく、生体の動作測定にも適用できることから、医療分野、健康機器分野などへの応用が可能です。

6軸モーションセンサのチップ面

カード型センサモジュール