熱分解窒化ホウ素（PBN）の構造解析

研究の背景

　BNは高温特性に優れた絶縁材料です。このBNの用途を拡げるために製造雰囲気中にハイドロカーボンなどを添加し、導電性を持たせたPBNを作製し、そのPBNの構造について透過型電子顕微鏡で微細組織を調べました。

CドープBNの透過電機顕微鏡写真

研究成果と製品化事例

　形成されるBNは多重双晶であり、構造は（h＋t）－BNでした。析出する多重双晶BNの大きさは、析出条件に依存しました。BNへのCドープ量は、ガス量より温度条件に大きく依存することが明らかになりました。

作製された高温用ヒーター